电致变色玻璃用ITO电极的力学性能及界面稳定性研究

韩 滨*, 赵 凡, 马 飞龙, 谭 玉蔚
中国建筑材料科学研究总院有限公司

摘要


针对电致变色玻璃对ITO电极力学性能及界面稳定性的要求，采用磁控溅射技术制备ITO薄膜，研究了溅射速率和充氧速率对薄膜纳米硬度、弹性模量、内应力及膜-基结合强度的影响。结果表明：溅射速率2 Å/s、充氧速率50 sccm时，ITO薄膜具有最优综合性能，纳米硬度达13.8 GPa，高于玻璃基片；薄膜处于压应力状态，主要来源于结构缺陷引入的本征应力；膜-基结合强度随溅射速率升高而降低。该研究为电致变色玻璃用ITO电极的力学性能优化及界面稳定性提升提供理论依据和技术支撑。

关键词


电致变色玻璃；ITO电极；力学性能；纳米硬度；膜-基结合强度

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参考


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DOI: http://dx.doi.org/10.12361/2661-3506-08-06-159810

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