单晶硅片的清洗检验工艺分析

钟 　峰
四川晶科能源有限公司

摘要


随着现代信息技术的迅猛发展，作为国民经济重要支柱的半导体工业具有举足轻重的作用，而作为半导体
器件基础材料的单晶硅，其性能的优劣将直接影响器件的性能与可靠性。硅片表面洁净度及缺陷控制是保证半导体
器件高品质制造的重要环节之一，因此，深入开展单晶硅晶圆清洗与检测技术研究，具有重要的理论与实际意义。

关键词


单晶硅片；清晰检验；工艺分析

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参考


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