洁净室内多点测量臭氧与分析

吴龙 海*1, 熊 玉林1, 钟 金枝1, 陈 杨1, 吕 建军2
1、连云港太瓦新能源有限公司
2、溧阳辰兴安装工程有限公司

摘要


在洁净室内，通过高精度臭氧侦测仪进行多点臭氧浓度检测，并应用相关性分析，可以深入了解洁净室内
的气流组织情况，从而排查出潜在的结构缺陷。该方法不仅有助于改善洁净生产和工艺质量管控，还提供了对空气
分子污染物（AMC）扩散机制的有效分析。本文详细阐述了实验方法、数据分析过程以及实验结果，展示了臭氧作
为天然分子示踪剂在洁净室优化中的应用价值。

关键词


洁净室；臭氧；相关性分析；分子示踪；气流组织；结构缺陷

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参考


[1]陈杨，吴龙海，张琳.异质结光伏电池厂安全管

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