基于气动阀组和同程管路的高精度温湿度控制技术应用

摘要

本研究针对高等级洁净室对温湿度控制精度和系统稳定性提出的严格要求，以上海某厂房洁净室扩充工程为依托，开展了以气动阀组与同程管路为核心的一体化环境控制系统研究。系统结合现场条件构建了闭环调节机制，优化了管路结构与控制逻辑，实现了多区域独立调控。工程实测结果表明，系统温湿度控制精度高，响应速度快，长期运行稳定性良好，能耗水平明显下降。研究成果为洁净室复杂改造条件下的环境控制系统优化提供了工程示范与技术支撑，具有良好的应用推广价值。