微孔激光加工中的光束控制与检测技术

田 东坡1, 朱 文宇1, 王 三龙1, 刘 晓飞2, 耿 军儒2
1、西安中科微精光子科技股份有限公司
2、中国航发动力股份有限公司

摘要


微孔激光加工对精密切割制造领域具有重要意义，光束质量是影响微孔加工的关键因素之一。本文系统分析了该类光束能量密度分布特性以及光斑尺寸和稳定性控制方法，在此基础上提出了光束特性的微小孔加工过程监控方案。同时也对这种控制技术和测试技术的结合应用做了进一步研究，以便达到提升制备微孔可靠性和一致性的作用，并为微孔激光加工工艺优化提供技术参考。

关键词


微孔激光加工；光束控制；检测技术；协同应用

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参考


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