真空炉两种常用泄漏指标概念及应用

郭 微微
兰州真空设备有限责任公司

摘要


真空炉的运行与性能评估中，泄漏指标至关重要。真空炉的密封性直接影响其内部的真空环境以及相关工艺
的效果。常用的泄漏指标主要有漏率和压升率。漏率反映的是单位时间内气体通过泄漏处进入真空炉的量，它是衡量
泄漏程度的一个量化指标。压升率则侧重于在特定条件下真空炉内压力升高的速率。这两个指标在真空炉的设计、调
试、维护等多方面有着广泛的应用。基于此，本篇文章对真空炉两种常用泄漏指标概念及应用进行研究，以供参考。

关键词


真空炉；常用泄漏指标；概念及应用

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参考


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