电子洁净厂房防微振设计

田 小虎
中国电子系统工程第三建设有限公司

摘要


电子洁净厂房防微振设计是保障纳米级半导体制造的核心技术，针对光刻机、电子显微镜等设备对微振动的严苛敏感性，需建立多专业协同控制体系。通过集成建筑布局避振策略、高刚度楼盖动力优化、设备模块化隔振基座及管路柔性连接技术，结合主动阻尼系统与振动传感网络，实现全系统振动能量传递路径控制。基于此，本篇文章对电子洁净厂房防微振设计进行研究，以供参考。

关键词


电子洁净厂房；防微振；设计

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参考


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