集成电路测试高压防打火技术分析研究及应用

李 长江
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

摘要


集成电路的高压测试是生产过程的关键环节,但打火现象可能导致器件损伤,影响测试精度与安全性。本
文立足于解决这一问题,深入剖析高压防打火技术的基础理论,研究其在集成电路测试中的应用策略。详细介绍了
几种主流的高压防打火技术,包括但不限于屏蔽技术、均压技术、改进电极设计以及采用特殊材料,分析了它们的
优缺点和适用场景。接着,探讨了高压防打火技术在集成电路测试中的实际应用,以及如何在高复杂度和高速度的
测试环境中保持防打火效果。本文系统地研究了集成电路测试中的高压防打火技术,为提高测试的可靠性和安全性
提供了理论支持和技术参考。后续研究将深化对防打火机理的理解,推动高压测试技术的创新与进步。

关键词


集成电路;高压测试;防打火技术;测试系统;应用研究

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DOI: http://dx.doi.org/10.12361/2661-3654-06-09-138708

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