平面上纳米孔图样的制备及原子力显微镜表征

孙 鑫鹏, 任 锐
临沂大学化学化工学院

摘要


本论文在深入探讨和分析原子力显微镜的扫描成像原理以及探针与表面作用机理的基础上，选取覆盖聚硅
氧烷纳米疏水层的石英片作为基底，对其进行成像，并进行纳米宽度的沟槽刻蚀。通过实验探索了成像扫描的参数
对成像结果的影响；通过理论分析和实验探索了纳米刻蚀的操作条件，并成功完成了单条和两条直线沟槽的刻蚀。

关键词


纳米刻蚀；原子力显微镜；纳米操纵

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参考


[1]孙 涛， 闫 永 达， 夏 加 飞.基 于 原 子 力 显 微 镜

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光刻蚀技术的现状和未来 [J]。物理，2002年，31（11）：

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DOI: http://dx.doi.org/10.12361/2661-3654-06-12-141489

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