异质结电池厂气体露点标准制定过程

吴 龙海1, 颜 海青1, 钟 金枝1, 陈 杨1, 陈 小巍2, 董 建树3
1、连云港太瓦新能源有限公司
2、中国电子系统工程第二建设有限公司
3、北京机电工程研究所

摘要


随着半导体技术的快速发展，洁净压缩空气（CDA）、氮气等气体在半导体制造中起着关键性作用。为确保
半导体产品的高质量和高良率，业内对气体的露点标准提出了严格要求。本文探讨了异质结光伏电池厂 CDA和氮气
的露点标准、产生这些标准的原因以及对工艺制造过程的影响，旨在为行业内相关人员提供参考。

关键词


异质结电池；大宗气体；氮气；露点

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参考


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DOI: http://dx.doi.org/10.12361/2661-3654-07-01-141917

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