半导体制冷式冷水机在半导体装备中的散热效率提升策略

金 重玄
杭州大和热磁电子有限公司

摘要


本文着重探讨半导体制冷式冷水机在半导体装备中散热效率的提升策略。半导体制冷式冷水机对于保障半
导体装备的稳定运行至关重要，然而其散热效率受多种因素制约。通过深度剖析相关技术资料，从优化热交换系统、
改进制冷模块、升级控制系统等方面提出针对性策略。优化热交换系统涵盖选用高效热交换器、改善冷却液特性、
优化水路设计；改进制冷模块涉及优化半导体制冷片性能、改良散热结构、合理配置电源；升级控制系统包括引入
智能控制算法、利用传感器监测、实现远程监控与故障诊断。这些策略旨在显著提升半导体制冷式冷水机的散热效
率，确保半导体装备高效稳定运行。

关键词


半导体制冷式冷水机；半导体装备；散热效率；热交换系统

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参考


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DOI: http://dx.doi.org/10.12361/2661-3654-07-02-143390

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