铟镓锌氧薄膜晶体管的电学特性研究

孔 祥岩, 叶 任圆, 梁 媛媛, 吴 鸿皓, 袁 少瑞, 郑 定山
长江大学

摘要


本研究系统探讨了铟镓锌氧薄膜晶体管的电学特性，聚焦材料组分优化、制备工艺参数调控及结构设计对
性能的影响，通过分析静态特性、动态特性、界面效应及环境稳定性等，提出了涵盖添加剂钝化、界面工程与低温
工艺等要素的优化策略，研究成果为高稳定性铟镓锌氧薄膜晶体管的开发提供了理论参考与实验依据。

关键词


铟镓锌氧薄膜晶体管（（IGZO-TFT））；制备方法；电学特性；工艺改进

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参考


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DOI: http://dx.doi.org/10.12361/2661-3654-07-04-146126

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