直拉单晶硅炉石墨加热器功率分布的低能耗设计研究

摘要

直拉单晶硅炉在晶体生长过程中通过石墨加热器提供热场，其功率的不恰当设置容易造成局部过热、热量
散失和径向轴向温差等现象，使单位晶体生长消耗的能量增多。针对加热区功率过大保温区热补偿不够以及较低的
热场匹配度等因素采用适当的分区功控、合理的加热器结构优化设计及配合有效的热屏技术使得将更多的热量聚集
于熔体区域及其固液界面附近从而尽可能少地散失于炉壁及上部空间之中，经过优化后得到更为均匀的温度分布，
使长晶界面稳定增长，并且可以降低输入给石墨加热器的功率，提高了在单晶硅拉制过程中的热效率与节能。