变压吸附氮气甲烷污染调查

吴 龙海1, 陈 杨1, 陈 小巍2, 董 建树3
1、连云港太瓦新能源有限公司
2、中国电子系统工程第二建设有限公司
3、北京机电工程研究所

摘要


变压吸附（PSA）氮气具有成本低的显著优势，广泛用于不需要6N及以上高纯氮气但又不能使用含氧的洁
净压缩空气（CDA）的场合。然而，近期监测结果显示，PSA氮气中的甲烷含量已攀升至10 ppm级别，这对工艺生
产构成了微量污染的问题。本文深入剖析甲烷含量升高的多重成因，包括全球气候变暖的加速效应、废弃油气井的
持续泄漏、农业与垃圾填埋排放的区域性叠加影响，系统阐述高浓度甲烷对光刻、薄膜沉积等核心工艺的危害机制，
并提出涵盖源头减排、高效净化技术、智能化监测预警和行业协作的全方位解决方案。本研究旨在为半导体行业应
对甲烷污染挑战、保障超净环境稳定性和提升产品良率提供科学依据与技术支撑。

关键词


变压吸附氮气；洁净压缩空气；甲烷污染；半导体制造

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参考


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