机电系统中的硅片固定夹具性能提升路径探讨

金 重玄
杭州大和热磁电子有限公司

摘要


本文聚焦机电系统中的硅片固定夹具，深入探讨其性能提升路径。首先阐述硅片固定夹具在机电系统中的
关键地位，分析现有夹具存在的问题。接着从材料优化、结构创新、控制技术升级三方面展开研究，详细论述提升
性能的具体方法。研究表明，采用新型复合材料、优化结构设计、引入智能控制技术可显著提高夹具的稳定性、精
度和适应性。通过这些措施，能有效满足机电系统对硅片加工日益增长的高精度需求，对推动机电系统相关产业发
展具有重要意义。

关键词


机电系统；硅片固定夹具；性能提升；材料优化

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参考


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