高纯单晶硅料集中除尘真空机组计算与效率仿真

何 志华
内蒙古大全新能源有限公司　四川轻化工大学

摘要


集中除尘真空机组首次应用于无尘洁净室的高纯单晶硅料与N型硅料生产，能有效抑制高纯硅料的浊度与
微粒的沉积，对N型硅料的纯度保持有重要控制作用。本论文提出了集中除尘真空机组设计的经验计算与除尘器过
滤效率仿真的方法。

关键词


真空机组；高纯单晶硅料；除尘器；隔爆阀；过滤效率仿真

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参考


[1]AQ4273-2016粉尘爆炸危险场所用除尘系统安全

技术规范，中国，国家安全生产监督管理总局，2016-

09-01.

[2]GB14050-2008系统接地的型式及安全技术要求，

中国，国家质量监督检验免疫总局，2008-09-24.


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