精密光电一体化装备多参量协同控制系统研发与产业化应用

王 震
北京富拓科技有限公司

摘要


针对精密光电一体化装备中光、机、电多物理场强耦合导致控制失稳的难题，本文系统性地开展了多参量
协同控制技术研究。在揭示多场耦合机理的基础上，构建了分布式协同控制模型与模块化系统架构。研制了微型复
合传感器与弱信号处理单元，实现了多源异构数据的高精度同步采集。提出了融合精密轨迹规划、交叉耦合补偿与
实时任务调度的核心算法，并基于高速嵌入式平台完成了光电驱动与机电热集成优化。经产线适配性改造与可靠性
强化，该控制系统在综合性能测试中表现出优异指标，为高端精密装备的产业化应用提供了关键技术支撑。

关键词


光电一体化；多参量协同控制；交叉耦合补偿；嵌入式系统；可靠性强化

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参考


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