直拉单晶硅炉热场结构优化与晶体生长质量控制

龙 昭钦, 段 平强, 张 敏
宜宾英发德坤科技有限公司

摘要


直拉单晶硅制备中热场结构对温度分布、固液界面稳定以及晶体缺陷的形成起着决定性作用，现有的热场
配置容易出现温差失衡、界面波动和热应力集中，造成晶体直径波动、位错增多、杂质分布不均。改进加热器、保
温层、导流、屏蔽部件参数，并加强生长过程的质量控制，炉内热环境稳定性明显改善，晶体成形质量、结构均匀
性、生产稳定性得到提高。

关键词


直拉单晶硅炉；热场结构；结构优化；晶体生长；质量控制

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参考


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