《短波长光源及应用》思政教学案例 ——以极紫外的应用技术为例

摘要

《短波长光源及应用》课程作为物理电子学学科的硕士生选修课程，具有鲜明的研究生专业课程特征，课程
密度高、专业性强且紧跟相关领域国际研究前沿。这种特征使该课程具有丰富的思政元素，适合于形成思政教学案
例。本文提取课程中关于极紫外的应用技术中极紫外光刻技术的相关内容形成课程思政的教学设计，通过对课程内
容的分析、规划和设计，达到讨论研究生专业课程思政工作的目的。