MEMS传感器结构建模和可靠性仿真研究

程 德帅, 栗 振超, 赵 晓雷, 李 彪, 姜 兴奥, 师 浩伟
中国兵器工业第二一四研究所

摘要


本文提出一种梳齿型MEMS传感器结构，并采用专业有限元分析软件Conventor Ware对MEMS传感器进行建模和仿真分析，并基于MEMS传感器模型分别进行静力分析、pull-in分析、模态分析，以验证设计的合理性和可靠性。

关键词


MEMS传感器；可靠性；模态分析；仿真

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参考


[1]许艳君.MEMS器件典型缺陷与可靠性分析，电子世界，2020.

[2]赫永平.MEMS设计模拟与仿真系统应用——CoventerWare，国防工业出版社，2022.

[3]于家锟.抗高过载惯性器件设计与分析，沈阳理工大学硕士论文，2011.


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