光刻技术在集成电路制造中的应用及教育探索

刘 家辰
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院

摘要


本文旨在深入剖析光刻技术于集成电路制造中的核心作用、应用情况及关键技术发展态势，并探索其在高校教育层面的融合路径，助力集成电路产业人才培养。通过文献研究、案例分析及实地调研等方法，梳理光刻技术原理、工艺流程等内容，同时结合产业需求，在高校构建合理课程体系、创新教学方法并搭建实践平台。结果显示，这些举措有助于提升学生对光刻技术的掌握程度，增强实践能力。结论表明，重视光刻技术在教育领域的应用，能为集成电路产业输送高素质专业人才，推动产业与教育协同进步，对产业长远发展意义重大。

关键词


光刻技术；集成电路制造；高等教育；人才培养

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参考


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