扫描电镜样品仓污染累积对成像分辨率影响及针对性清洁维护制度

田 瓅
内蒙古大学

摘要


扫描电镜样品仓污染积累会影晌实际成像分辨率以及图像稳定性。样品制备过程中残留、导电胶挥发物、
粉末颗粒、有机污染物和真空系统污染会在样品仓内慢慢沉积下来，从而影响到样品仓的真空稳定性、电子束散射、
碳污染膜以及信号采集等各方面的影响。本文主要对样品仓污染来源、分辨率劣化表现以及清洁维护制度进行分析，
认为应该把污染控制前移到样品准入和装样环节，用标准样品成像、真空恢复时间监测、污染沉积测试和维护日志
建立诊断机制。颗粒污染、有机污染、胶体残留等采取不同的清洁方式来提高扫描电镜运行的稳定性以及精密表征
的可靠性。

关键词


扫描电镜；样品仓污染；成像分辨率；真空稳定性；清洁维护制度

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