模块NTC实验室检测方法研究

强 阳强, 蒋 军, 孙 亚, 马 书嫏
无锡华润华晶微电子有限公司

摘要


功率模块在高温、高压等严苛工况下的可靠性评估是新能源与电力电子系统的核心挑战。然而传统高温反向偏置（HTRB）老化实验中，器件结温（Tj）的实时监测能力不足，导致器件的实际考核条件与需求条件存在差异，对寿命模型预估误差较大。本文以SiC MSOP9封装功率模块为研究对象，提出一种基于NTC电阻监测的结温反馈方法。通过改造现有可靠性老化设备，实现了HTRB老化过程中NTC电阻的实时动态检测。

关键词


功率模块；负温度系数热敏电阻（NTC）；高温漏电；电阻值

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参考


[1]IEC 60539-1 Directly heated negative temperature coefficient thermistors - Part 1: Generic specification


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